23、真空蒸镀机匮缺：高端显示屏上的阴影

未来可卷曲、如纸一样轻薄的各类终端屏幕主要选材是OLED(有机发光二极管)，OLED生产过程最重要的一环就是“蒸”，工艺难度极高。

真空蒸镀机就如同OLED面板制程的“心脏”，被日本Canon Tokki独占高端市场，说其掌握着OLED产业的咽喉也不过分，业界对它的年产量预测通常在几台到十几台之间。有钱也买不到，说的就是它。可惜，目前我国还没有生产蒸镀机的企业，在这个领域我们没什么发言权。

　　这台设备就如同生产OLED面板的“入场券”

买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”，Canon Tokki在业内的名声很像顶级光刻机企业ASML，神一样的存在。

仅有300多名员工，却基本垄断了全球真空蒸镀机的供应，每台报价过亿美元，仍然一机难求，排队等货因此成为常态。

据说京东方6代柔性OLED生产线能够提前量产的重要前提就是，拿到了Canon Tokki的真空蒸镀机。三星之所以能垄断中小尺寸OLED的生产和供货，也是因为有了Canon Tokki的助攻。

蒸镀设备厂商不止一家，Canon Tokki为什么一机难求？因为它量产稳定与技术成熟的优势无人可比。

买到Canon Tokki的设备就能有良品率吗？不然。

中粤金桥投资合伙人罗浩元对记者说：“蒸镀设备虽然是OLED生产中的关键环节，但一条生产线要实现批量化、高品质的生产，要对整个生产链进行科学管理及整合，确保每一道工序可控、可靠。但是，没有真空蒸镀设备，以上无从谈起。”

　　Canon Tokki能把蒸镀误差控制在5微米以内

蒸镀是OLED制造工艺的关键，直接影响着OLED屏幕显示，蒸镀机的工作就是把OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上。

OLED显示面板中大量应用的有机材料极易受到氧气和水的影响，有机材料间也很容易造成污染，因此，面板的蒸镀一般都是在真空环境下且相互独立进行。

通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜，这个过程就是真空蒸镀。

“通俗地说，OLED屏幕每个像素都是蒸上去的，除了发光材料，金属电极等也是这样蒸上去的，实际操作非常复杂。

Canon Tokki能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内，这是什么概念？1微米相当于头发直径的1%。”罗浩元说，“没有其他公司的蒸镀机能达到这个精准度。”

潜心于一个领域20余年，让Canon Tokki拥有不少专利，比如，它很早就将机器视觉应用在设备上。生产环节中，对准玻璃基板和用作像素模板的细金属网难度很大，利用摄像头追踪，Canon Tokki可将误差范围缩小到人体红细胞大小。

　　这是一场多维度、立体化的综合性突破

就如中国科学院院士、中国科学院物理研究所欧阳钟灿教授所说，中国平板显示全球第一，但大而不强。我国OLED企业主要聚集在产业链中下游的面板和手机等显示终端产品应用领域，上游核心生产设备完全依靠进口。

当年三星从全球40多家蒸镀机业者选到今天最牛的Canon Tokki，在OLED产业蛰伏期，Tokki遭逢破产危机时，依然全力扶持，这种患难情谊让三星一度独家拿下Canon Tokki的全部产量。

电子创新网创始人、半导体技术专家张国斌对记者说：“虽然离了Canon Tokki三星也可能玩不转，但三星对产业趋势和技术的判断、把握值得我们反省。”

罗浩元比较认同张国斌的观点：“具体到真空蒸镀机这种卡住产业咽喉的核心装备，能不能追，怎么追，从上到下都很迷茫。我国目前的OLED产业布局和推进方式可以让我们短期内形成产业规模，却无法实现高端设备的自主研发、装备能力。这个问题不解决，别说真空蒸镀机，其他OLED装备的突破也将是空谈。”

中国电子材料行业协会常务副秘书长袁桐认为，材料或设备并不是单一的产品，它牵涉到面板系统性的工艺和技术，如果只凭配套企业一己之力，可能只能实现某一种材料或设备的国产化替代。罗浩元说：“这是一场多维度、立体化的综合性突破。”

OLED的生产难度在精密制造，精密制造的技术壁垒在精密设备。国内OLED大型生产线装备虽仍一片空白，但OLED科研型蒸镀设备已达国际水平，中试型生产装备已成功研发。“虽然距离摆脱‘真空’有点远，但好歹上路了。”罗浩元说。

“真空蒸镀机等核心设备的缺失，反映出我国基础研究、精密加工、自动化控制等多领域的短板。”罗浩元说，“虽然很难，但一代人有一代人的任务，希望我们这一代能生产出真空蒸镀机。”

　　24、传感器疏察，被愚钝的机器人“国产触觉”

给一个压力，还一个电信号。触觉传感器的简单转变就能让真实世界以“二进制”的方式传给机器人。

　　行业内，工艺不过关

精确、稳定的严苛要求，拦住了我国大部分企业向触觉传感器迈进的步伐，目前国内传感器企业大多从事气体、温度等类型传感器的生产。在一个有着100多家企业的行业中，几乎没有传感器制造商进行触觉传感器的生产。

可见，对卖方而言，工艺门槛太高;对买方而言，国产货没有障。“一个向左、一个向右”的局面，形成了依赖进口、内生乏力的恶性循环。

　　行业外，材料不够纯

除了生产工艺，材料纯度也是从实验室到工业生产的“扼咽之处”。

　　技术复杂，另一道坎

日渐复杂的技术也让国产产品落得越来越远。

　　有布局，但转化难推进

我国在触觉传感器的一种——多维力传感器的研究方面，很早就进行了布局。不可否认的是，在原创技术的追赶中，后来者必须绕过先行者的相关专利保护，除非找到明显更优解，否则很可能会因为绕过专利而提高技术达成的门槛，大多数时候，传说中的“变道超车”要靠运气。

　　25、居者无其屋，国产航空发动机的短舱之困

短舱，是飞机上安放发动机的舱室，俗称“房子”，模样类似整流罩，主要由发动机进气道、整流罩和尾喷口组成，起整流、降噪、保护和为安装发动机部分附件提供平台的作用。

“与人们熟知的在高温、高压、高速等极端工况下工作的航空发动机热端部件相比，短舱属于‘低温部件’技术，是航空推进系统最重要的核心部件之一，所需的技术难度极高。其成本约占全部发动机的1/4左右。”北京天骄航空产业投资有限公司国家“千人计划”专家王光秋博士说。

目前，新一代大涵道比航空发动机短舱，主要由航空业顶级制造商美国古德里奇提供，包括波音787和空客A350/A320neo等，也包括庞巴迪C系列和巴西航空公司的E系列支线飞机。美国GE与法国赛风合资的奈赛公司也是一家短舱供应商，向用于B737、A330等飞机的推进系统提供短舱。而我国在这一重要领域尚属空白。

　　26、丧失先机，没有自研操作系统的大国之痛

电脑和手机里，操作系统就像总经理。每次开启电源，操作系统第一个上岗，它根据用户的动作，命令各种硬件干活。软件的计算需求，经操作系统翻译，向各种硬件发出指令。但中国没有自己的操作系统。

缺少自研操作系统，不仅是中国的痛点，英、俄、日、德、印等强国用的都是美国人的操作系统。操作系统天然垄断，赢家通吃。美国先人一步，占据高点。

　　27、中兴的“芯”病，中国的心病

当地时间16日，一记重拳向中兴通讯砸下。美国商务部表示，由于中兴通讯违反了曾与美国政府达成的和解协议，7年内禁止美国企业向中兴通讯出口任何技术、产品。

招商电子分析称，中兴通讯的主营业务有基站、光通信及手机，而芯片在这三大领域均存在一定程度的自给率不足。

　　28、这些“细节”让中国难望顶级光刻机项背

指甲盖大小的芯片，密布千万电线，纹丝不乱，需要极端精准的照相机——光刻机。光刻机精度，决定了芯片的上限。高精度光刻机产自ASML、尼康和佳能三家;顶级光刻机由ASML垄断。

“十二五”科技成就展览上，上海微电子装备公司(SMEE)生产的中国最好的光刻机，与中国的大飞机、登月车并列。它的加工精度是90纳米，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。国外已经做到了十几纳米。

(责任编辑：安博涛)